掃描電子顯微鏡的優(yōu)勢為可以直接觀察非常粗糙的樣品表面，參差起伏的材料原始斷口。但其劣勢為樣品要在真空環(huán)境下觀察，因此對樣品有一些特殊要求。

籠統(tǒng)的講：干燥，無油，導(dǎo)電。

1、形貌形態(tài)，要耐高真空。例如有些含水量很大的細胞，在真空中很快被抽干水分，細胞的形態(tài)也發(fā)生了改變，無法對各類型細胞進行區(qū)分；

2、樣品表面不能含有有機油脂類污染物。油污在電子束作用下J端容易分解成碳氫化物，對真空環(huán)境造成很大的污染。樣品表面細節(jié)被碳氫化合物遮蓋；碳氫化合物降低了成像信號產(chǎn)量；碳氫化合物吸附在電子束光路引起很大象散；碳氫化合物被吸附在探測器晶體表面，降低探測器效率。對低加速電壓的電子束干擾嚴重。

3、SEM樣品要為干燥。水蒸氣會加速電子槍陰極材料的揮發(fā)，從而很棒大降低燈絲壽命；水蒸氣會散射電子束，增加電子束能量分散，從而增大色差，降低分辨能力。

4、樣品表面必需導(dǎo)電。在大多數(shù)情況下，初級電子束電荷數(shù)量都大于背散射電子和二次電子數(shù)量之和，因此多余的電子要導(dǎo)入地下，即樣品表面電位要保持在0電位。如果樣品表面不導(dǎo)電，或者樣品接地線斷裂，那么樣品表面靜電荷存在，使得表面負電勢不斷增加，出現(xiàn)充電效應(yīng)，使圖像畸變，入射電子束減速，此時樣品如同一個電子平面鏡。

5、在某些情況下，樣品制備變成重要的考慮因素。若要檢測觀察弱反差機理，要消除強反差機理（例如，形貌反差），否則很難檢測到弱的反差。當(dāng)希望EBSD背散射電子衍射反差，I和II型磁反差或其他弱反差機理時，磁性材料的磁疇特性必需消除樣品的形貌。采用化學(xué)拋光，電解拋光等，產(chǎn)生一個幾乎消除形貌的鏡面。特殊情況: 磁性材料，要退磁。