對于不導(dǎo)電的材料，為何需要鍍膜，這與掃描電鏡的工作原理有關(guān)。SEM掃描電鏡的工作原理是利用聚焦得非常細的高能電子束在試樣上掃描，激發(fā)出各種物理信息。通過對這些信息的接收、放大和顯示成像，獲得測試樣品表面形貌。而對于非導(dǎo)電樣品，由于其絕緣電阻非常大，當(dāng)其在電子束的連續(xù)掃描下時，表面會逐漸積累負電荷，形成相當(dāng)高的負電場，排斥入射電子，二次電子發(fā)射不穩(wěn)定，并隨機偏轉(zhuǎn)二次電子軌跡，影響探測器的接收，這時就會造成圖像的晃動，圖像亮點突變，或者是出現(xiàn)無規(guī)則的明亮條紋等現(xiàn)象，這些就是所謂的荷電效應(yīng)，也稱充電效應(yīng)。在樣品表面鍍上一層導(dǎo)電薄膜就是為了解決這一問題。

掃描電鏡樣品表面鍍上一層導(dǎo)電薄膜后可以提高樣品的導(dǎo)電性，表面的負電荷通過導(dǎo)電膜釋放入地，消除荷電現(xiàn)象。電荷釋放的前提是膜層要與金屬樣品臺連接，形成導(dǎo)電通道。目前實驗室采用較多是離子濺射鍍膜工藝，所鍍導(dǎo)電材料選擇較多的為C、Au、Pt。對于這三種元素均有其優(yōu)缺點：

①C膜均勻性好、導(dǎo)電導(dǎo)熱效率高，與Au、Pt想較來說其是Z經(jīng)濟的材料，只是C膜的二次電子的產(chǎn)率比較低，不適用于需要拍攝高倍圖像的樣品;

②Au膜的二次電子產(chǎn)率較高，覆蓋性好，鍍膜容易，是很常用的材料，但是Au膜顆粒較大，高倍下觀察時會看到明顯島狀結(jié)構(gòu)，這是一種假象。鍍Au膜適用于中低范圍的分辨率、兩萬倍以下的圖像;

③與Au膜相較而言，Pt膜消除荷電的能力次之，但其顆粒較Au膜小，對于高分辨率圖像也適用。

總之，對于需要進行成分分析的樣品來說，C膜的影響是很小的，但是對于不含所用導(dǎo)電材料的樣品，鍍導(dǎo)電膜對其分析結(jié)果的影響不會太大。當(dāng)然除了以上三種導(dǎo)電材料還有其他導(dǎo)電材料。SEM掃描電鏡在選擇鍍膜材料時可根據(jù)自身需要、常接觸樣品的特性及其成分來進行選擇。