掃描電鏡（Scanning Electron Microscope）是一種介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的微觀(guān)形貌觀(guān)察手段，以下是關(guān)于SEM掃描電鏡的一些小知識(shí)點(diǎn)介紹：

一、掃描電鏡的基本構(gòu)造

SEM掃描電鏡主要由電子槍、電子透鏡、掃描系統(tǒng)、電子收集系統(tǒng)（形貌分析）、成像熒光屏以及X射線(xiàn)接收系統(tǒng)（成分分析）等部件組成。

二、掃描電鏡的工作原理

SEM掃描電鏡的工作原理是利用電子槍發(fā)出的電子束，在電場(chǎng)的作用下加速，并經(jīng)過(guò)電子透鏡聚焦成極細(xì)的電子束。該電子束在樣品表面進(jìn)行逐行掃描，激發(fā)樣品產(chǎn)生出各種物理信號(hào)，如次級(jí)電子、背散射電子等。這些信號(hào)被探測(cè)器收集，并按順序、成比例地轉(zhuǎn)換為視頻信號(hào)，*終在顯示屏上獲得能反映樣品表面特征的掃描圖像。

三、掃描電鏡的特點(diǎn)

高分辨率：SEM掃描電鏡具有極高的分辨率，能夠清晰地觀(guān)察到樣品表面的細(xì)微結(jié)構(gòu)。

大景深：掃描電鏡的景深較大，視野廣闊，成像富有立體感，可直接觀(guān)察各種試樣凹凸不平表面的細(xì)微結(jié)構(gòu)。

放大倍數(shù)寬：SEM掃描電鏡的放大倍數(shù)可在20至20萬(wàn)倍之間連續(xù)可調(diào)，便于尋找缺陷并建立微觀(guān)形貌和宏觀(guān)形貌之間的聯(lián)系。

樣品制備簡(jiǎn)單：掃描電鏡的樣品制備相對(duì)簡(jiǎn)單，塊狀樣品、粉末狀樣品、纖維狀樣品等均可觀(guān)察。但需要注意的是，有些樣品需要做導(dǎo)電處理，以防止荷電現(xiàn)象。

四、SEM掃描電鏡的應(yīng)用范圍

掃描電鏡在多個(gè)領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用，包括但不限于：

材料科學(xué)：用于觀(guān)察金屬、陶瓷、聚合物等材料的微觀(guān)結(jié)構(gòu)和形貌，分析晶粒、相界面、缺陷和裂紋等細(xì)節(jié)。

生物學(xué)：用于觀(guān)察細(xì)胞、組織和微生物的超微結(jié)構(gòu)，如細(xì)胞膜上的微小結(jié)構(gòu)、組織的超微結(jié)構(gòu)以及微生物的形態(tài)特征和生長(zhǎng)狀態(tài)。

納米技術(shù)：用于觀(guān)察和表征納米材料和納米結(jié)構(gòu)，如納米顆粒、納米線(xiàn)、納米管等的形態(tài)和尺寸。

半導(dǎo)體制造：用于觀(guān)察芯片表面的缺陷、測(cè)量線(xiàn)寬和層厚，確保生產(chǎn)工藝的精確控制。

地質(zhì)學(xué)研究：用于觀(guān)察礦物的微觀(guān)結(jié)構(gòu)和成分，分析晶體形態(tài)、裂隙與包裹體以及微量元素分布等。

五、SEM掃描電鏡的樣品要求及制備

掃描電鏡的樣品需滿(mǎn)足以下要求：

樣品B須是固體。

樣品應(yīng)無(wú)毒、無(wú)放射性、無(wú)污染、無(wú)磁、無(wú)水且成分穩(wěn)定。

塊狀樣品大小要適中；粉末狀樣品需要進(jìn)行特殊處理，如鍍膜以增強(qiáng)導(dǎo)電性。

在樣品制備過(guò)程中，需要根據(jù)樣品的性質(zhì)和實(shí)驗(yàn)需求選擇合適的制備方法。例如，對(duì)于塊狀導(dǎo)電材料，可以直接將其粘結(jié)在樣品臺(tái)上進(jìn)行觀(guān)察；對(duì)于塊狀非導(dǎo)電或?qū)щ娦圆畹牟牧希瑒t需要進(jìn)行鍍膜處理以增強(qiáng)導(dǎo)電性并防止充電效應(yīng)。

綜上所述，SEM掃描電鏡作為一種高分辨率的微觀(guān)形貌觀(guān)察手段，在多個(gè)領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景和重要的科學(xué)價(jià)值。